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多工位排气台在电真空器件行业应用
作者:管理员    发布于:2026-01-13 23:16    文字:【】【】【
摘要:多工位排气台在电真空器件行业应用 , 耀世注册开户 ?本文介绍一种多工位电真空器件排气系统,用于电真空器件如:电子管、磁控管、行波管、回旋管、 电真空器件是一种在气密性

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  电真空器件是一种在气密性密封容器中产生电磁作用的电子器件,气密性容器也称管壳,一般由玻璃、陶瓷、金属等材质制成,起作用是保障壳体内的真空环境。电真空器件广泛应用在航空航天、无线通讯、雷达等领域,民用市场如音箱、微波炉等也会用到电真空器件。常用的电真空器件如:电子管、磁控管、行波管、回旋管、调速管、激光陀螺等;

  该系统采用多工位设计、自动控制,为器件提供真空排气、充气和老化的环境。此系统能够对工件自身进行抽真空和充气,同时可为器件进行烘烤、除气。满足电真空器件批量生产需求,是一种典型的生产设备。

  2、启动抽真空系统对产品抽真空,根据不同真空器件,抽真空度也不尽相同,因此真空系统选型配置也有所差别,一般电线、对电真空器件进行加热排气操作,对电真空器件加热主要是为了排除电真空壳体表面吸附的气体,这个时段一般是一边加热,一边抽真空排气,这个过程根据产品工艺要求会持续2-24小时,或者更长。目的是尽可能排除产品表面吸附气体及工件内的参与气体。

  6、对真空器件进行封口操作,如金属采用封口钳冷封、超声波焊接;玻璃制品采用玻璃烧结等;

  电真空器件多工位排气台由四个方面构成,即工件主抽系统、工件充气系统、温度保障系统(含加热元件,温控系统) 、设备控制监测系统。

  包括真空泵,真空阀,主抽气管路,工件抽气管路,工作架,真空泵支撑,阀门支撑,真空管路支撑等,真空管路外面包裹加热元件,与加热控温系统连接、真空管路上安装真空测量规管与测量控制系统等连接。前级管路留有检漏阀门,实现在线检漏的功能。它主要用来连接工件,并且能造就一个符合试验条件的超高线.

  主要包括工件充气管路,工件抽空管路,气瓶接口,进气调节阀门等,与充气管路安装真空规,与测量控制系统连接。

  1) 管路烘烤加热及温控系统,为工件加热的控温系统。2) 管路烘烤加热系统:主管路烘烤系统,两组工位管路烘烤系统。

  它用来控制真空系统和温度保障系统的元件的动作,并负责将真空度、温度等参数保存记录下来。

  总之,该设备真空度高、温度易于控制且均匀性好、长期运转稳定可靠、操作使用简单方便。具有一定的专用性和通用性,是工件真空除气,工件抽空、充气实验必不可少的设备。

  3. 工件连接阀、充气微调阀和气瓶高阀漏率:≤2×10-11Pa.m3/s4. 管道和阀门耐烘烤最高温度:300,管路烘烤温度可控。

  包括真空泵,真空阀,主抽气管路,工件抽气管路,工作架,真空泵支撑,阀门支撑,真空管路支撑等,真空管路外面包裹加热元件,与加热控温系统连接、真空管路上安装真空测量规管与测量控制系统等连接。前级管路留有检漏阀门,实现在线工件主抽管路

  包括前级机械泵,挡油阱,高真空采用分子泵,系统主抽泵离子泵,主抽管道,主抽阀门全金属角阀。

  主抽管路连接两个工件抽空管(左工位抽空管道和右工位抽空管道),每个工件抽空管道连接10个工位。工件抽空管道通过两个CD-35全金属角阀与主抽管路连接。每个工件抽空管路连接10个手动全金属角阀,型号为CD-16,与工位全金属管路连接,可连接工件。左、右工件抽空管路各安装一个薄膜规及手动阀,对压强进行监测。

  工作架用来安装真空管道,真空泵及线方钢焊接成型,台面铺不锈钢拉丝板,机架安装承重脚轮,可方便工作架的移动。机架上安装真空泵支撑,阀门支撑和管路支撑。薄膜规的显示仪表安装在左右各一侧,与充气阀门相邻,方便充气时对压强进行监测。

  5.2工件充气系统工件充气系统配套工件抽空管路,分两个管路,每个管路连接不少于个气瓶,每路充气管路可给10个工件进行充气。每个气瓶端口连接一个微调阀门,调节进气量,并通过薄膜规对充气压强进行监测。充气管路通过与高真空管路的连接,对充气管路进行真空抽气。

  根据工件的超高真空度的要求,真空管路和工件需要进行至少48小时的烘烤除气才能将管路和工件内部的残余气体抽空,使真空系统达到指定压力。因此真空管道和工件都要进行烘烤除气。真空管路采用不锈钢制作,连接法兰采用无氧铜密封圈,管路中使用的阀门全部采用全金属阀,开阀状态最高可耐烘烤300,关阀状态最高可耐400的烘烤。

  真空管路烘烤分三路:主管道一路,工件抽空管道两路。管路烘烤系统采用加热带缠绕在真空管道外壁,外包铝箔保温。

  3、真空下整体烘烤,根据用户工艺需求,将多个工位整体放入真空罩内,在真空环境下加热烘烤,类似下图:

  真空管路及工位的加热控温采用加热电源+调功模块+PLC扩展模块进行温度控制,通过改变供给加热元件的功率调节升温及程序控温。

  控温方式采用手动控温方式。手动控温采用手动调节触摸屏中温度参数,设定PID参数,按输入程序改变调功模块控制电流进而调节加热元件的电流进行温度调节。

  温控系统应可满足各工位的工件加热需求,温控范围:室温~300,温控精度:±1。各工位的温控参数可独立设置且互不干扰,所有参数通过高效的通讯方式在触摸屏上设置或显示,触摸屏驻留界面应同时显示20个工位的实时温度。

  在部分工位温度传感器和加热器空载、或出现短路/断路故障的情况下,不能影响其余工位的正常温控功能。

  设备控制监测系统是控制整个设备的系统。它包括控制电源、触摸屏、PLC、通讯的模块和接口,还有真空计、真空泵电源、控温系统等设备。真空控制系统与工作架集成为一体,节约空间。

  本控制系统采用可编程控制器及扩展(单元)模块作为主控PLC;对系统设备的机械泵、分子泵、各阀门、烘烤系统进行协调控制,并读取温度、真空计等测量数据。

  排气台控制系统应具有关键信息自动采集与记录功能,能适时自动采集排气过程中的真空度和各个工位的加热温度等系统运行数值,并能将这些数据进行存储记录(可下载输出),可随时调用数据并绘制曲线在触摸屏上显示,或下载后异地查询,不会因为外接电源断电而产生既往数据丢失。

  各设备之间设有连锁保护功能,防止误操作,电气控制系统设有短路、过热、断水、断电等报警保护功能。

  ZDR-电阻规安装在机械泵进气口,在主系统和气路预抽时都可以进行真空监测。

  电真空器件抽真空排气系统是电真空器件生产过程种一种关键必不可少的设备,该种设备性能好坏会直接影响到电真空器件的质量。我们经过多年实践经验积累,已经总结出了一套完整的针对电真空器件抽真空排气成熟设备,可以为用户量身定制生产设备,我们已经为国内众多用户制作了不同类型的多工位电真空器件排气系统,受到了广大用户青睐认可。

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